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PECVD系統

PECVD系統

??PECVD?系統是為了使傳統的化學氣象沉積(CVD)反應溫度降低,在普通?CVD?裝置的前端加入?RF?射頻感應裝置將反應氣體電離,形成等離子體,進而利用等離子體的活性來促進反應,所以這個系統稱為增強型化學氣相沉積系統(PECVD)。?

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PECVD?系統是為了使傳統的化學氣象沉積(CVD)反應溫度降低,在普通?CVD?裝置的前端加入?RF?射頻感應裝置將反應氣體電離,形成等離子體,進而利用等離子體的活性來促進反應,所以這個系統稱為增強型化學氣相沉積系統(PECVD)。

? ? 該型號PECVD為我公司最新款,綜合了國內大多數廠家的管式?PECVD?系統的優點,在?PECVD?前端加入了氣體預熱區,實驗證明此結構沉積速度快,成膜質量好,針孔較少,不易龜裂。控制部分采用了我公司自主研發的實驗電爐全自動智能控制系統,使得操作更加簡便,功能更加強大? ???

主要特點

?氣體預熱——增加前端氣體預熱區,沉積速度更快,成膜效果更好;

?智能?控制系統——加熱控制、等離子射頻控制、氣體流量控制、真空系統控制統一集中調節和操控,協調控制;

?管內壓力自動平衡——管內壓力實時監測,自動平衡管內壓力。

?智能氣路通斷——每路氣體均可定時通斷,省時省力;

?射頻功率和開關定時控制——預先設定好功率的大小和打開與關閉的時間,系統自動運行;

?爐膛移動速度可調——根據實驗要求,用戶可設定爐膛左右移動的速度可距離;

?整機結構融為一體——移動方便,避免分散組裝的困擾。

技術參數

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